CS200(A）:高性價(jià)比產(chǎn)品
高精度，多氣體多量程，自動(dòng)調(diào)零，量程5sccm-50slm
橡膠密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數(shù)字485、DeviceNet
主要特點(diǎn)：
1、 數(shù)字化，橡膠密封
2、 高精度，快響應(yīng)
3、極低零漂及溫漂
4、良好的兼容性
技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào)
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CS200（A）
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流量規(guī)格（N2）
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( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
（0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM
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準(zhǔn)確度
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±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
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線性
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±0.5% F.S.
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重復(fù)精度
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±0.2% F.S.
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響應(yīng)時(shí)間
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≤ 1sec
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閥類型
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Normally Closed or Normally Open
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工作壓差范圍
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(0.05～0.35) Mpa（≤10slm）
（0.1～0.35) Mpa（20slm，30 slm）
(0.2～0.45) Mpa（50 slm） ＜0.02MPa
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溫度系數(shù)
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Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃
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最大工作壓力
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3MPa
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零漂
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＜0.6%F.S. per year without autozero
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漏率
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1×10-9 atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
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密封材料
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Viton;Neoprene
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表面粗糙度
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25Ra
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工作環(huán)境溫度
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（5～45）℃
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輸入信號(hào)
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Digital: RS485 DeviceNetTM
Analog:(0～5)VDC or (4～20)mA
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輸出信號(hào)
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Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC and (4～20)mA
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電源
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±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)
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電氣連接
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D sub 9 pins male，D sub 15 pins male
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標(biāo)準(zhǔn)接頭形式
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VCR1/4” M；SwagelokΦ3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal
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重量
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1kg
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