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第一標準平面（A面），不鍍膜。 工作直徑

D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm(λ/30)

第二標準平面（B面），不鍍膜。 工作直徑

D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm(λ/20)

準直系統

D1=Φ146mm

工作直徑

f=400mm

測微目鏡

焦距f=16.7mm,放大倍數β=15X，視場角2w=40o，成像物鏡：I、D=4.5；П、D=7；Ш、D=10，f=16，f=23，f=37

干涉室尺寸

深260*寬300*190mm

光源規格

激光ZN18（He-Ne）

外形尺寸

長*寬*高 350*400*720mm

重量

100公斤