單目顯微鏡,雙目顯微鏡,
一、立式接觸式干涉儀 JDS-1 參數
被測件最大長度:
150 mm
工作臺行程:
5 mm
測桿移動范圍:
0.5mm
分劃板刻度范圍:
±50格
直接測量范圍:
5-20μm
分度值調整范圍:
0.05-0.2 μm
推薦使用分度值:
0.1 μm
測量壓力:
(1.5±0.1) N
儀器示值穩定性:
0.02 μm
儀器誤差:
±(0.03+1.5ni △λ/λ)um
n 是格數, i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差
儀器體積:
280×500×700 mm
儀器重量:
40 kg
二、儀器標準配件:
1
1、五筋園臺
2
九筋瑪瑙臺
3
可調園平臺
4
輔助臺
5
平面測帽 Ф2
6
小球面測帽
7
干涉濾光片
氣體檢測儀
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