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美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標準型質量流量控制器

產品編號：	15967
產品：	美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標準型質量流量控制器
品牌：	美國 ALICAT
型號：	Array
規格：	臺
單價：	面議
供貨總量：	庫存充足
貨源周期：	現貨
發貨期限：	自買家付款之日起 3 天內發貨
有效期至：	長期有效
最后更新：	2024-03-05 16:09

詳細說明

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標準型質量流量控制器

量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM，優于 1 % 的精度，控制范圍廣，優于 100 ms 響應時間

美國 ALICAT 21 系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差專利技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。

可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩定的優質電磁閥以及優化的 PID 調校，可達到優于 100 ms 的控制速度，并保持極佳穩定性，并有超低壓損產品可供您選擇。

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標準型質量流量控制器

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標準型質量流量控制器儀器特點

? 數字化產品
? 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
? 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
? 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
? 可選高精度：優于 0.5%
? 可測范圍廣，0.01 ～ 100% 滿量程
? 響應時間快，優于 100 ms
? 內置 98 種氣體
? 可現場編輯混合氣體（最多 5 種成分），并最多存儲 20 種混合氣

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標準型質量流量控制器行業應用

? 大學 / 研究所
? 環境監測
? 真空行業及鍍膜
? 工業爐窯
? 半導體

? 汽車制造
? 光伏
? 燃料電池
? 計量校準
? 過程工藝氣體測量

美國 ALICAT 21 系列標準型質量流量控制器精度升級

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度	± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度	± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性	±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移	± 0.01% 滿量程 / ℃溫差 ± 0.01% 滿量程 / Atm 壓力差
質量流量量程漂移	± 0.01% 讀數 / ℃溫差 ± 0.1 % 讀數 / Atm 壓力差

美國 ALICAT 21 系列標準型質量流量控制器性能指標

介質要求	非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類	內置了 98 種氣體，請參考背面一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量程	從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）
測量和控制范圍	0.01~100% 滿量程
最大顯示流量	128 % 滿量程
最大可控流量	102.4 % 滿量程
顯示屏	按鍵操作，標準為 LCD 黑白顯示屏（帶背光），可選 TFT 彩色顯示屏
顯示方式	同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精度	±（0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程） ±（0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度	流量精度之外增加 ±0.5% 讀數的額外誤差
重復性	± 0.2 % 滿量程
零點漂移 & 滿量程漂移	0.02 % 滿量程 / ℃ / Atm
響應時間	優于 100 ms
預熱時間	＜ 1 s
標定工況	25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度	-10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至 100℃）
溫度精度	± 0.75 ℃
工作濕度	0 ~ 95 %，無冷凝
最大工作壓力	1 MPaG（可選 2 MPaG 高壓選項）
最低操作壓力	如果不做真空特殊標定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度	± 0.5 % 讀數（讀數＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）
滿量程壓損	參考背面詳細壓損表
數據刷新頻率	數字信號 40 Hz@19200 波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率	10 Hz
數字輸入 / 輸出信號	RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、 Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）
模擬輸入 / 輸出信號	0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出	質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度	在基礎誤差上額外增加 ±0.1% 滿量程的誤差
供電電壓	7 - 30 VDC （如選 4-20 mA 輸出，須為 15 - 30 VDC ）
供電電流	250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口	DB9，可選 DB15、6 針工業接頭、8 針 Mini-DIN
泄漏率（外漏）	選擇 HLC 選項，泄漏率可低至 1 x 10-9Atm cc/s He
材質	302 不銹鋼、Viton、硅膠 RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃
過程連接	標準為 NPT 內螺紋，詳情參考壓損表
安裝方式	對位置無要求
防護等級	IP40
認證	ISO 9001、NIST、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）
* 如選 Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

美國 ALICAT 21 系列標準型質量流量控制器尺寸/壓損

滿量程質量流量控制器	滿量程壓損 1（psid）排氣到大氣中	外觀尺寸	連接接口 2
0.5 sccm - 50 sccm	1.0	3.9''H ×3.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內螺紋）3
100 sccm - 500 sccm	1.0	4.1''H ×3.6''W ×1.1''D	1/8''NPT 內螺紋
1 slpm	1.5
2 slpm	3.0
5 slpm	2.0
10 slpm	5.5
20 slpm	20.0
50 slpm	2.0	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/4''NPT 內螺紋
100 slpm	3.2	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/4''NPT 內螺紋
250 slpm	2.4	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/2''NPT 內螺紋
500 slpm	6.5	5.5''H ×7.4''W ×2.3''D	3/4''NPT 內螺紋（2000 SLPM 可選配 1-1/4''NPT 內螺紋）
1000 slpm	14.0	5.5''H ×7.4''W ×2.3''D
1500 slpm	17.0	5.5''H ×8.1'W ×2.9''D
2000 slpm	28.6	5.5''H ×8.1'W ×2.9''D
3000 slpm	16.8	5.5''H ×8.9''W ×2.9''D	1-1/4''NPT 內螺紋
5000 slpm	14.1	6.3''H ×10.0''W ×4.5''D	1-1/2''NPT 內螺紋
1、另有低壓損系列質量流量控制器。 2、與 Beswick®，Swagelok® 管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可以按照用戶需求與 VCR，SAE 接頭相兼容。 3、Buna-N 表面密封至 1/8''NPT 內螺紋。

美國 ALICAT 21 系列標準型質量流量控制器氣體兼容表

編碼	名稱	類別
常規氣體
0	空氣 Air	①
14	乙炔 (C2H2)	①
1	氬氣 (Ar)	①
16	異丁烷 (i-C4H10)	①
13	n-C4H10 normal Butane 丁烷	①
4	CO2 Carbon Dioxide 二氧化碳	①
3	CO Carbon Monoxide 一氧化碳	①
60	D2 Deuterium 氘	①
5	C2H6 Ethane 乙烷	①
15	C2H4 Ethylene 乙烯	①
7	He Helium 氦	①
6	H2 Hydrogen 氫	①
17	Kr Krypton 氪	①
2	CH4 Methane 甲烷	①
10	Ne Neon 氖	①
8	N2 Nitrogen 氮氣	①
9	N2O Nitrous Oxide 一氧化二氮	①
11	O2 Oxygen 氧	①
12	C3H8 Propane 丙烷	①
19	SF6 Sulfur Hexafluoride 六氟化硫	①
18	Xe Xenon 氙	①
腐蝕性氣體
30	NO Nitric Oxide 一氧化氮	②
31	NF3 Nitrogen Trifluoride 三氟化氮	②
32	NH3 Ammonia 氨氣	②
33	CL2 Chlorine 氯氣	③
34	H2S Hydrogen Sulfide 硫化氫	②
35	SO2 Sulfur Dioxide 二氧化硫	③
85	CH3OCH3 Dimethyl Ether 二甲醚	②
36	C3H6 Proylene 丙烯	②
86	SiH4 Silane 硅烷	②
80	C4H8 1-Butene 1—丁烯	②
81	C4H8 cis-2-butene 順 -2- 丁烯	②
82	C4H8 Iso-Butene 異丁烯	②
83	C4H8 Trans-Butene 反丁烯	②
84	COS Carbonyl Sulfide 羰基硫	②
焊接氣體
23	2% CO2 / 98% Ar	①
22	8% CO2 / 92% Ar	①
21	10% CO2 / 90% Ar	①
140	15% CO2 / 85% Ar	①
141	20% CO2 / 80% Ar	①
20	25% CO2 / 75% Ar	①
142	50% CO2 / 50% Ar	①
24	75% CO2 / 25% Ar	①
25	25% He / 75% Ar	①
143	50% He / 50% Ar	①
26	75% He / 25% Ar	①
144	90% He / 10% Ar	①
27	90% He / 7.5% Ar/ 2.5% CO2	①
28	Stargon CS 90% Ar/ 8% CO2 / 2% O2	①
生物反應氣體
145	5% CH4 / 95% CO2	①
146	10% CH4 / 90% CO2	①
147	15% CH4 / 85% CO2	①
148	20% CH4 / 80% CO2	①
149	25% CH4 / 75% CO2	①
150	30% CH4 / 70% CO2	①
151	35% CH4 / 65% CO2	①
152	40% CH4 / 60% CO2	①
153	45% CH4 / 55% CO2	①
154	50% CH4 / 50% CO2	①
155	55% CH4 / 45% CO2	①
156	60% CH4 / 40% CO2	①
157	65% CH4 / 35% CO2	①
158	70% CH4 / 30% CO2	①
159	75% CH4 / 25% CO2	①
160	80% CH4 / 20% CO2	①
161	85% CH4 / 15% CO2	①
162	90% CH4 / 10% CO2	①
163	95% CH4 / 5% CO2	①
煙道氣
200	2.5% O2 / 10.8% CO2 / 85.7% N2 / 1% A	①
201	2.9% O2 / 14% CO2 / 82.1% N2 / 1% Ar	①
202	3.7% O2 / 15% CO2 / 80.3% N2 / 1% Ar	①
203	7% O2 / 12% CO2 / 80% N2 / 1% Ar	①
204	10% O2 / 9.5% CO2 / 79.5% N2 / 1% Ar	①
205	13% O2 / 7% CO2 / 79% N2 / 1% Ar	①
激光氣體
179	4.5% CO2 / 13.5% N2 / 82% He	①
180	6% CO2 / 14% N2 / 80% He	①
181	7% CO2 / 14% N2 / 79% He	①
182	9% CO2 / 15% N2 / 76% He	①
183	9% Ne / 91% He	①
184	9.4% CO2 / 19.25% N2 / 71.35% He	①
100	R-11 Trichlorofluoromethane	②
101	R-115 Chloropentafluoroethane	②
102	R-116 Hexafluoroethane	②
103	R-124 Chlorotetrafluoroethane	②
104	R-125 Pentafluoroethane	②
105	R-134A Tetrafluoroethane	②
106	R-14 Tetrafluoromethane	②
107	R-142b Chlorodifluoroethane	②
108	R-143a Trifluoroethane	②
109	R-152a Difluoroethane	②
110	R-22 Difluoromonochloromethane	②
111	R-23 Trifluoromethane	②
112	R-32 Difluoromethane	②
113	RC-318 Octafluorocyclobutane	②
114	44% R-125 / 4% R-134A / 52% R-143A	②
115	23% R-32 / 25% R-125 / 52% R-134A	②
116	50% R-32 / 50% R-125	②
117	50% R-125 / 50% R-143A	②
氧濃縮氣體
197	89% O2 / 7% N2 / 4% Ar	①
198	93% O2 / 3% N2 / 4% Ar	①
199	95% O2 / 1% N2 / 4% Ar	①
燃料氣體
185	40% H2 / 29% CO / 20% CO2 / 11% CH4	①
186	64% H2 / 28% CO / 1% CO2 / 7% CH4	①
187	70% H2 / 4% CO / 25% CO2 / 1% CH4	①
188	83% H2 / 14% CO / 3% CH4	①
189	93% CH4 / 3% C2H6 / 1% C3H8 / 2%N2 / 1% CO2	①
190	95% CH4 / 3% C2H6 / 1% N2 / 1% CO2	①
191	95.2% CH4 / 2.5% C2H6 / 0.2% C3H8/ 0.1% C4H10 / 1.3% N2 / 0.7% CO2	①
192	50% H2 / 35% CH4 / 10% CO / 5% C2H4	①
193	75% H2 / 25% N2	①
194	66.67% H2 / 33.33% O2	①
195	LPG 96.1% C3H8 / 1.5% C2H6 / 0.4% C3H6 / 1.9% n-C4H10	②
196	LPG 85% C3H8 / 10% C3H6 / 5% n-C4H10	②
呼吸氣體
164	32% O2 / 68% N2	①
165	36% O2 / 64% N2	①
166	40% O2 / 60% N2	①
167	20% O2 / 80% He	①
168	21% O2 / 79% He	①
169	30% O2 / 70% He	①
170	40% O2 / 60% He	①
171	50% O2 / 50% He	①
172	60% O2 / 40% He	①
173	80% O2 / 20% He	①
174	99% O2 / 1% He	①
175	Enriched Air-40% O2	①
176	Enriched Air-60% O2	①
177	Enriched Air-80% O2	①
178	metabolic Exhalant (16% O2 / 78.04% N2 / 5% CO2 / 0.96% Ar)	①
色譜氣體
29	5% CH4 / 95% Ar	①
206	10% CH4 90% Ar	①
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。 * 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。 * ALICAT 非抗腐蝕流量計 / 控制器產品，可支持①類氣體。 * ALICAT 抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。 * ALICAT 抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。 * 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。