2、然后高壓通過反滲透膜。

3、最后還要經(jīng)過紫外殺菌以去除水中的微生物。

4、如果此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。

相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水。