臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。
經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭燃燒裝置尾氣vocS排放檢測氧濃度大小。1、按氣體檢測儀的開機鍵，等到30-60S后，待氣體檢測儀充分啟動后顯示屏一切數值顯示正常。
2、手持氣體檢測儀放到距離待檢測的環境中，等待3min左右，待氣體檢測儀充分檢測環境中臭氧氣體泄漏濃度后，其顯示屏上會顯示出臭氧氣體具體的濃度數值。
3、使用氣體檢測儀之后，除了正常關機，及時充電續航之外，還需要對氣體檢測儀進行有效的維護：通常為數值的歸零，儀器的清潔，特別氣體檢測是氣體檢測儀頭部的傳感器位置，需要及時的清理灰塵，因為很多現場操作環境都比較惡劣，小顆粒物灰塵容易造成氣體檢測儀傳感器堵塞，影響其檢測儀的靈敏度。