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超純水制備速度

120L/h

5L/h

超純水分配速度

2L/min

3L/min

可手動、定時、定量取水

0.2-0.07μS/cm（受進水水質、水壓及溫度影響）

電導率

0.055μS/cm@25°C

5-15MΩ×cm（受進水水質、水壓及溫度影響）

電阻率

18.2MΩ×cm@25°C

<5ppb

TOC

<2ppb

<1CFU/1000ml

產水微生物

<1CFU/1000ml

<1/ml

產水顆粒物

<1/ml

>外形尺寸

W|H|D|

43.5|50.1|47.6cm"

空載機重

28kg

運行機重

36kg

電源配置

100–240VAC(±10%);50–60Hz,130VA(max.)

運行溫度

2°C–35°Catmax.80%相對濕度

數據端口

SD卡接口，RS232端口，以太網接口

進水水質

進水壓力

2–6.9bar

進水溫度

2–30°C

進水電導

<1500μS/cm@25°C

進水TOC

<1000ppb

進水硬度

360ppm（CaCO3），溶解CO2≤40ppm

游離氯

<4ppm

總Fe

<0.1ppm，錳：<0.05ppm，鋁：<0.05ppm

SDI淤泥指數

<5

濁度

<1NTU

pH值

4-10