SC-90型 
認證：
CE認證
特點：
內置微處理器
LCD數字顯示
自我診斷功能
泵式采樣方式
輕量設計
峰值保持和平均值
聲，光報警
規格
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檢測氣體和范圍
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(見下表)
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檢測原理
|
電化學原理
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采樣方式
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內置泵吸入式
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顯示
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LCD自照明，連續測量顯示，平均值顯示和峰值顯示
|
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功能
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微機控制
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溫濕度
|
-10℃-+40℃，低于90%RH，無凝結
|
|
連續使用時間
|
堿性電池(標準)：約20小時
Ni-Cd電池(選購)：約10小時
|
|
尺寸和重量
|
約80(H)×200(W)×142(D)mm 約1.9kg
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規格如有更改恕不另行通知
檢測氣體和范圍(一般性)
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檢測氣體
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檢測范圍(刻度)
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報警點
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硅烷(SiH4)
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0-15ppm(0.5ppm)
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5ppm
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磷烷(PH3)
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0-1ppm(0.05ppm)
|
0.3ppm
|
|
臭氧(O3)
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0-1ppm(0.02ppm)
|
0.3ppm
|
|
0-5ppm(0.05ppm)
|
2ppm
|
|
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氟(F2)
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0-3ppm(0.05ppm)
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1ppm
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氯化氫(HCl)
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0-15ppm(0.5ppm)
|
5ppm
|
|
氟化氫(HF)
|
0-9ppm(0.5ppm)
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3ppm
|
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溴化氫(HBr)
|
0-9ppm(0.5ppm)
|
3ppm
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|
氨(NH3)
|
0-75ppm(0.5ppm)
|
25ppm
|
|
砷烷(AsH3)
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0-200ppb(5ppb)
|
50ppb
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SC-90型
認證：
CE認證
特點：
內置微處理器
LCD數字顯示
自我診斷功能
泵式采樣方式
輕量設計
峰值保持和平均值
聲，光報警
規格
|
檢測氣體和范圍
|
(見下表)
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|
檢測原理
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采樣方式
|
內置泵吸入式
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顯示
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LCD自照明，連續測量顯示，平均值顯示和峰值顯示
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功能
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微機控制
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溫濕度
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-10℃-+40℃，低于90%RH，無凝結
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連續使用時間
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堿性電池(標準)：約20小時
Ni-Cd電池(選購)：約10小時
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尺寸和重量
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約80(H)×200(W)×142(D)mm 約1.9kg
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規格如有更改恕不另行通知
檢測氣體和范圍(一般性)
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檢測氣體
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檢測范圍(刻度)
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報警點
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硅烷(SiH4)
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0-15ppm(0.5ppm)
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5ppm
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磷烷(PH3)
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0-1ppm(0.05ppm)
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0.3ppm
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臭氧(O3)
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0-1ppm(0.02ppm)
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0.3ppm
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0-5ppm(0.05ppm)
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2ppm
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氟(F2)
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0-3ppm(0.05ppm)
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1ppm
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氯化氫(HCl)
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0-15ppm(0.5ppm)
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5ppm
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氟化氫(HF)
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0-9ppm(0.5ppm)
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3ppm
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溴化氫(HBr)
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0-9ppm(0.5ppm)
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3ppm
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氨(NH3)
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0-75ppm(0.5ppm)
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25ppm
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砷烷(AsH3)
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0-200ppb(5ppb)
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50ppb
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