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G100 系列質量流量控制器
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產品編號： 11487
品牌： hcx
型號： G100
單價： 面議
起訂：
供貨總量：
發貨期限： 自買家付款之日起 天內發貨
所在地： 北京
有效期至： 長期有效
最后更新： 2023-06-27 17:19
瀏覽次數： 53
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公司基本資料信息
詳細說明

G100 系列質量流量控制器

數字式設計簡介

G100 系列質量流量控制器標配高精度傳感 器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需 的所有基本功能。G100 系列采用標準的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴展 至 255 臺設備同時使用。

G100 質量流量控制器:特點
  • ■ 高精度、高分辨率控制
  • ■ DC 9-36V 寬電壓供電
  • ■ 低功率，功率＜2W
  • ■ 集成 40 種基礎氣體種類
  • ■ 可自定義 10 種混合氣體
  • ■ 控制參數自整定功能
  • ■ 數字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
  • ■ 寬流量量程范圍
  • ■ 無安裝方向限制
  • ■ 具有高重復性和高可靠性
  • ■ 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快
  • ■ 自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃
  • ■ 內部閉環控制，具有高穩定性
  • ■ 小封裝尺寸
G100 質量流量控制器:量程及精度簡介
  • ■ 可用量程:最大 0-20slpm,最小 0-10sccm,常備量程請參考選型表
  • ■ 量程比：100:1
  • ■ 滿量程精度：±0.5%
  • ■ 讀取精度：±1%
  • ■ 可重復性：±0.5%FS
  • ■ 響應時間：＜100ms（調節 PID 控制參數可縮 短響應時間）
G100 質量流量控制器:應用領域
  • ■ 氣相和液相色譜儀
  • ■ 半導體工藝
  • ■ 環境監測設備
  • ■ 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）
  • ■ 氣體發生器
  • ■ 配氣混氣系統
G100 質量流量控制器:功能介紹
功能 說明
流量控制 可實現高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。
累計流量 可通過 Modbus-RTU 協議讀取累計流量。
多種量程選擇 最小量程 50sccm，最大量程 50slpm。
內置 40 種基本氣體 內置 40 種基本氣體，氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣 可根據使用需求，自定義混合氣。
數字控制 使用 RS-485 通信控制。
標準 Modbus-RTU RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協議。
參數自整定 控制參數可通過協議或按鍵實現自動調整到最佳 PID 控制參數。
設定值記憶功能 開啟該功能后，MFC 可記錄斷電前最后一次設定值，再次通電直接執行該設定值。
閥控功能 可實現閥全開、閥全關、閥自動閉環控制功能。
多臺設備串聯 通過更改通信地址，最大可實現 255 臺設備串聯控制。
自定義波特率 可通過 Modbus-RTU 設置自定義波特率。
通信協議兼容原型號（GT130D/GT180）設定流量和讀取流量
G100 質量流量控制器:技術參數
運行參數
讀數精度 ±1% Rdg
滿量程精度 ±0.5% FS
重復性 ＜±0.5% FS
零點漂移和滿量程漂移 ＜±0.02% FS/℃/Atm
量程比 100:1
典型響應時間 ＜100 毫秒（可調節 PID 參數達到更短時間>
啟動預熱時間 ＜1 秒
標準工況 20℃&101.325kPa（標準工況溫度可通過 RS485 調整）
耐壓 1 MPa
安裝方向要求 無
電氣參數
工作電壓 DC 9V-36V±10%
功率 ＜2W
數字控制信號 RS-485 Modbus-RTU / 按鍵操作
電信號接口 1×4P 2.54mm 間距帶鎖接頭
物理參數
閥門 比例閥（常閉）
通過介質 氣體
工作溫度 0-50℃
傳感器溫度補償范圍 0-50℃
工作濕度 0-100%（非冷凝）
存儲溫度 -40~85℃
泄漏率 ＜0.020sccm He (壓差 150psi)
G100 質量流量控制器:各量程尺寸
流量控制器量程 機械尺寸（長×寬×高 mm） 氣路連接接口
量程 50sccm 至 1slpm 50×25×50 M5
量程 5slpm 50×25×54 M5
量程 10slpm 50×25×58 M5
量程 20slpm 50×25×64 M5
G100 質量流量控制器:氣體種類:基本氣體種類
非耐腐蝕性流量控制器氣體種類
氣體編號 化學符號 氣體名稱 氣體編號 化學符號 氣體名稱
0 Air 空氣 20 95%CO2/5%CH4 Bio5
1 N2 氮氣 21 90%CO2/10%CH4 Bio10
2 Ar 氬氣 22 85%CO2/15%CH4 Bio15
3 H2 氫氣 23 80%CO2/20%CH4 Bio20
4 He 氦氣 24 75%CO2/25%CH4 Bio25
5 O2 氧氣 25 70%CO2/30%CH4 Bio30
6 CH4 甲烷 26 65%CO2/35%CH4 Bio35
7 CO 一氧化碳 27 60%CO2/40%CH4 Bio40
8 CO2 二氧化碳 28 55%CO2/45%CH4 Bio45
9 C2H2 乙炔 29 50%CO2/50%CH4 Bio50
10 C2H4 乙烯 30 45%CO2/55%CH4 Bio55
11 C2H6 乙烷 31 40%CO2/60%CH4 Bio60
12 C3H8 丙烷 32 35%CO2/65%CH4 Bio65
13 iC4H10 異丁烷 33 30%CO2/70%CH4 Bio70
14 nC4H10 正丁烷 34 25%CO2/75%CH4 Bio75
15 N2O 一氧化二氮 35 20%CO2/80%CH4 Bio80
16 SF6 六氟化硫 36 15%CO2/85%CH4 Bio85
17 Xe 氙氣 37 10%CO2/90%CH4 Bio90
18 Ne 氖氣 38 95%Ar/5%CH4 C-5
19 Kr 氪氣 39 90%Ar/10%CH4 C-10
所有氣體可根據使用需求重新定義。
耐腐蝕型流量控制器氣體種類
氣體編號 化學符號 氣體名稱 氣體編號 化學符號 氣體名稱
0 Air 空氣 20 NH3 氨氣
1 N2 氮氣 21 H2S 硫化氫
2 Ar 氬氣 22 NO 一氧化氮
3 H2 氫氣 23 NO2 二氧化氮
4 He 氦氣 24 C3H6 丙烯
5 O2 氧氣 25 SiH4 硅烷
6 CH4 甲烷 26 SO2 二氧化硫
7 CO 一氧化碳 27 CH3Br 溴甲烷
8 CO2 二氧化碳 28 n-C5H12 正戊烷
9 C2H2 乙炔 29 i-C5H12 2-甲基丁烷/異戊烷
10 C2H4 乙烯 30 C5H12 2,2-二甲基丙烷/新戊烷
11 C2H6 乙烷 31 NF3 三氟化氮
12 C3H8 丙烷 32 1-Buten 1-丁烯
13 iC4H10 異丁烷 33 c-Buten 順-2-丁烯
14 nC4H10 正丁烷 34 t-Buten 反-2-丁烯
15 N2O 一氧化二氮 35 i-Buten 異丁烯
16 SF6 六氟化硫 36 CF4 四氟化碳
17 Xe 氙氣 37 C2F6 全氟乙烷
18 Ne 氖氣 38 CHF3 三氟甲烷
19 Kr 氪氣 39 SiH2Cl4 二氯甲硅烷
所有氣體可根據使用需求重新定義。
自定義混合氣體種類
氣體編號 氣體名稱 氣體編號 氣體名稱
40 自定義混合氣 0 45 自定義混合氣 5
41 自定義混合氣 1 46 自定義混合氣 6
42 自定義混合氣 2 47 自定義混合氣 7
43 自定義混合氣 3 48 自定義混合氣 8
44 自定義混合氣 4 49 自定義混合氣 9
所有氣體可根據使用需求重新定義。
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