cosmos XPS-7 硒化氫氣體檢測(cè)器
cosmos XPS-7 硒化氫氣體檢測(cè)器:用途
- ?半導(dǎo)體工廠(chǎng)/石油化學(xué)工廠(chǎng)等
- ?在使用半導(dǎo)體材料氣體/硒化氫氣體 的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
cosmos XPS-7 硒化氫氣體檢測(cè)器:特 點(diǎn)
- ?只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè) 各種對(duì)象氣體
- ?用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行氣體檢 測(cè)器校正
- ?可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
?選購(gòu)品
?傳感器專(zhuān)用通電臺(tái)（EC-7）
?請(qǐng)?jiān)趯?zhuān)用通電臺(tái)（EC-7）對(duì)傳感器組件進(jìn)行通電。 （可掛6臺(tái)）
對(duì)象氣體一覽表（XPS-7/XPS-7Ⅱ）
| 型 號(hào) |
氣 體 |
滿(mǎn)量程 |
| XDS-7NH |
NH3氨氣 |
100ppm |
| XDS-7SH |
SiH4甲硅烷 |
25ppm |
| XDS-7DC |
SiH2Cl2二氯二氫硅 |
25ppm |
| XDS-7AH |
AsH3砷化氫 |
250ppb |
| XDS-7PH |
PH3磷化氫 |
1ppm |
| XDS-7BH |
B2H6乙硼烷 |
500ppb |
| XDS-7SE |
H2Se硒化氫 |
250ppb |
| 型 號(hào) |
氣 體 |
滿(mǎn)量程 |
| XDS-7GH |
GeH4鍺烷 |
1ppm |
| XDS-7CL |
Cl2氯氣 |
5ppm |
| XDS-7CF |
ClF3三氟化氯 |
1ppm |
| XDS-7HC |
HCl氯化氫 |
25ppm |
| XDS-7HF |
HF氟化氫 |
10ppm |
| XDS-7HB |
HBr溴化氫 |
10ppm |
| XDS-7NO |
NO一氧化氮 |
100ppm |
| 型 號(hào) |
氣 體 |
滿(mǎn)量程 |
| XDS-7HS |
H2S硫化氫 |
50ppm |
| XDS-7CO |
CO一氧化碳 |
250ppm |
| XDS-7DS |
Si2H6乙二氯二氫硅 |
25ppm |
| XDS-7F2 |
F2鐵 |
5ppm |
| XDS-7OZ |
O3臭氧 |
1ppm |
| XDS-7SD |
SO2二氧化硫 |
10ppm |
| XDS-7ND |
NO2二氧化氮 |
10ppm |
XPS-7Ⅱ：支持檢測(cè) NF3 的微型便攜式氣體檢測(cè)器
| 型 號(hào) |
檢測(cè)氣體名 |
氣 體 |
滿(mǎn)量程 |
一段報(bào)警 |
二段報(bào)警 |
單位 |
| XDS-7NF |
三氟化氮 |
NF3 |
100 |
5 |
10 |
ppm |
