在線氣體監測儀 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型紅外吸收法)的半導體氣體濃度監測儀。
它可以在線檢測用于化合物半導體制造工藝的液體材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固體以及液體材料中發生氣化的氣體濃度。

在線氣體濃度計IR-150特點
最適于MOCVD用液體,固體材料氣體的濃度管理
實現了與MFC相等的操作通用性和價格統一性。

在線氣體濃度計IR-150在線實時檢測濃度。
配備有安全探測安全系統(SDSS)，支持將來的300mm全自動晶圓生產。
系統中包括濃度、壓力的報警，和報警輸出。
小巧、可隨意安裝設置，不需要選擇空間
具備超群的性價比，最適于生產線中的濃度管理