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公司基本資料信息
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型號:新宇宙式特氣檢測部 PS-7(半導體工廠用)
特性:專為半導體行業定制,傳感器自由更換,維護方便
檢測對象:半導體材料氣體
檢測方式:
特點: |
帶有氣體采樣流量自動控制功能 |
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LCD顯示,現場狀態一目了然 |
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實現小型、輕量化 |
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可簡單地更換傳感器和采樣氣路 |
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帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能 |
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可以設定多樣的維護模式 |
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組合對應熱分解單元與定電位電解式傳感器,能檢測NF3等 |
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實現了用PDA讀取數據 |
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符合CE規格,SEMI規格 |
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規格: |
規格 |
型號 |
PS-7 |
標準型 |
附帶轉換器組件型 |
檢測原理 |
•定電位電解式、熱絲型半導體式、隔膜電流電池式 |
采樣方式 |
泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自動控制) |
采樣配管 |
特氟隆外徑6內徑4mm、配管距離在20m以內 |
氣體濃度顯示 |
液晶數字四位顯示(附帶單位)20分割條形圖 |
日本新宇宙 PS-7固定式氣體檢測器(半導體工廠用)
報警接點 |
•氣體報警(1段以及二級) 報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示 |
外部輸出 |
氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA(與電源的負極通用) 氣體報警接點(1段以及兩極) 1a無電壓接點/自動復位 故障報警接點 (開路集電極/自動復位) |
適合電纜線 |
控制用屏幕電纜線(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用溫度濕度范圍 0℃~40℃(但是不能有劇烈的溫度變化)、30~85%RH(但不能結露) |
使用電源 |
DC24V±10% |
消耗電力 |
約7w |
尺寸 |
•W62xH124xD143mm(除去突起物) |
重量 |
約1.0kg |
安裝方法 |
壁掛式 |
儀器采購、咨詢聯系電話:010-82752485 ,82752463?