CS200-D型數字式氣體質量流量控制器

?

?

公司基本資料信息

詳細說明

CS200-D型數字式氣體質量流量控制器高性價比金屬密封產品，高精度，多氣體多量程，自動調零，量程2sccm-30slm，全金屬密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
CS200-D型數字式氣體質量流量控制器

詳細參數

產品型號	CS200-D
量程(N₂)	( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
量程(N₂)	( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM
精度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
精度	±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
重復精度	±0.2% FS
線性	±0.5% FS
響應時間	≤0.8 sec
閥類型	Normally Closed or Normally Open
溫度系數	Zer ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃
零點漂移指標	＜0.6%F.S. per year without autozero
表面粗糙度	25µinch
工作環境溫度	（0～50）℃
輸入信號	Digital:RS485/DeviceNet/Profibus Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA
模擬流量輸出信號	0-5V和4-20mA
模擬流量控制信號	0-5V和4-20mA
電源要求	±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA)
電氣連接	D sub 9 pins male, D sub 15 pins male, DeviceNet male, DeviceNet male+Analog Output,Profibus
工作壓差范圍	(0.05～0.35) Mpa（≤10slm） (0.1～0.35) Mpa（>10slm）
最大耐壓	3MPa
漏率	1×10^-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He）
密封材料	metal
表面化學成分	Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20
接頭尺寸	VCR1/4” M 雙卡套Φ6，雙卡套1/4” W-seal，C-seal
重量	1.2kg