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公司基本資料信息
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標(biāo)準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
| 滿量程流量范圍（N2) | 5SCCM～5SLM | |||
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |||
| 閥類型（閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） | |||
| 準(zhǔn)確度 | ±1％F.S. | |||
| 線性 | ±0.5～1％F.S. | |||
| 重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |||
| 響應(yīng)時(shí)間 | 1～4sec | |||
| 工作溫度范圍 | 5～45℃ | |||
| 工作壓差 | 0.1～0.3MPa | |||
| 耐壓 | 3MPa | |||
| 漏氣率 | 1×10-8SCCSHe | |||
| 通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 | |||
| 靜密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） | |||
| 動(dòng)密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） | |||
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| 重量 | 2.6kg | |||
儀器采購、咨詢聯(lián)系電話：010-82752485 ,82752463?
