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EZ6被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，觸摸屏操作，性能優(yōu)異的一款靈巧型勻膠機(jī)。
u 結(jié)構(gòu)緊湊
EZ6外型尺寸較小，適合直接放于手套箱內(nèi)操作。可旋涂6寸圓形底物。
u 簡(jiǎn)單易用
彩色觸屏控制，界面簡(jiǎn)單易用，且自帶幫助功能，提供使用向?qū)В瑢?duì)初次使用者非常方便。
u 程控操作
提供多步編程旋涂工藝運(yùn)行，可存貯10組10步程序，還可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能。
u 性能穩(wěn)定
工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)，轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，重復(fù)性好；獨(dú)特真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可靠性高。
l HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內(nèi)腔，帶排廢功能
l SUS耐腐蝕不銹鋼機(jī)身，耐溶劑性PC透明蓋子，經(jīng)久耐用
l 4.3寸全彩觸屏人機(jī)界面，提供觸屏筆操作
l 100W直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制
l 內(nèi)腔直徑200mm，可處理碎：100-12000rpm，轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm
l 加速度可控范圍：100-30000rpm/s
l 可進(jìn)行多步程序運(yùn)行，可存貯10組10步程序
l 帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能
l 寬輸入電壓適片（小于1cm）至6英寸圓晶底物
l 轉(zhuǎn)速可控范圍用：AC100-230V輸入
l 帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能，確保操作安全
l 可選擇設(shè)置開機(jī)密碼功能，提高設(shè)備操作安全性
EZ6 勻膠機(jī)產(chǎn)品附件選擇：
l 標(biāo)配三種真空載物盤（直徑10mm,25mm,55mm），適于碎片至6寸圓形底物的處理
l 可根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤的設(shè)計(jì)加工
l 用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤
l 無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發(fā)生器可選
l 4-6寸手持式對(duì)中裝置可選
l 蓋子上點(diǎn)膠針筒支架手動(dòng)點(diǎn)膠可選配
l 瓶口分液器手動(dòng)計(jì)量點(diǎn)膠可選配
l 蠕動(dòng)泵/點(diǎn)膠機(jī)等自動(dòng)點(diǎn)膠裝置可選配