臭氧（化學分子式O3）又名三原子氧,因其有類似魚腥味的臭味而得名.
以氧化作用破壞微生物膜的結構實現殺菌作用.臭氧首先作用于細胞膜,使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙,臭氧繼續滲透穿臭氧透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖,改變細胞的通透性,導致細胞溶解、死亡.
臭氧的化學性質極為活潑,它在游離時的能量在瞬間產生強力的氧化作用,而進行殺菌、消毒、解毒工作.臭氧極易溶解于水,溶在水中具有更強的殺菌能力,是氯氣的600－3000倍,能迅速將細菌和病毒殺滅.細菌、病毒與臭氧結合后會改變分子結構或能量轉移,導致細菌病毒死亡,不再形成新病菌,能有效去除各種細菌、病毒、異味及新家具油漆釋放的有毒氣體(甲醛、苯等),大氣中適量的臭氧對人體的健康是非常有益的.
　　同理,臭氧也能分解抽煙產生的尼古丁,防止二手煙對他人的傷害,可以分解農藥的毒性,也可以消除煤氣和燃煤產生的二氧化硫的毒性,臭氧還能消除一些輻射對人體的傷害.
臭氧是一種高效的消毒劑,對細菌、病菌、真菌、霉菌芽胞、病毒等微生物都具有極強的殺滅力.由于臭氧為彌漫氣體,消毒無死角,故消毒殺菌效果好.利用氧化性來殺死微生物以達到滅菌效果的化合物還有很多,比如常見的氯氣、漂白粉、高錳酸鉀等.但是,這些殺菌劑不但比臭氧殺菌速度慢,而且一般的殺菌對人體有害.臭氧殺菌與一般殺菌劑不同,因為多余的臭氧可以很快分解成氧氣,故不存在二次污染問題.
空氣中臭氧的含量在百萬分之一以內時對人體很有益,因微量的臭氧能刺激中樞神經,加快血液循環,增加血液中的活氧量,活化細胞,但高濃度的臭氧會使人感到不舒服,甚至會對人體造成可逆性傷害,因此必須控制臭氧的發生量.不過,臭氧應用一百多年來,至今世鉀界上無一例因臭氧中毒死亡事故的發生.